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Gas Information Table
英文名称	分子式	中文名称	钢瓶压力（Psi）	钢瓶接头CGA/DISS	瓶内状态	毒	腐	燃	双层管
Argon	Ar	氩气	2600	580/718	气	否	否	否	否
Arsine	AsH3	（砷烷）	205	350/632	液	毒	否	燃	需
Diborane	B2H6		2200	350/632	气	毒	否	燃	需
Boron Teichloride	BCl3	三氯	4.4	660/634	液	毒	腐	否	需
Boron Trifluoride	BF3	三氟	1600	330/642	气	毒	腐	否	否
Chloropenta Fluoroethane	C2ClF5	无氟氯乙烷	101	660/716	液	毒	否	否	否
Acetylene	C2H2	乙炔（电石气）	250	510/N/A	气	否	否	燃	否
Ethane	C2H6		544	350/N/A	气	否	否	燃	需
Butane	C4H10	丁烷	16.3	510/N/A	液	毒	否	燃	否
Carbon Tetrafluoride	CF4	四氟化碳	2000	320/716	气	否	否	否	否
Methane	CH4	甲烷	2400	350/632	气	否	否	燃	需
Chlorine	Cl2		85	660/728	气	毒	腐	否	需
Chlorine Teifluoride	ClF3		6.8	670/728	液	毒	腐	否	需
Carbon Monoxide	CO	一氧化碳	1650	350/724	气	毒	否	燃	需
Carbon Dioxide	CO2	二氧化碳	830	320/716	液	否	否	否	否
Deuterium	D2	（重氢）	2000	350/724	气	毒	否	燃	否
Fluorine	F2	氟气	300	679/N/A	气	毒	腐	否	否
Germanium Tetrachloride	GeCl4	四氯化锗	-13.23	N/AN/A	液	毒	腐	否	需
Germane	GeH4	四氢化锗（锗烷）	88	350/632	气	毒	否	燃	需
Hydrogen	H2	氢气	2600	350/724	气	否	否	燃	否
Hydrogen Sulfide	H2S	硫化氢	253	330/722	液	毒	否	燃	需
Hydrogen Selenide	H2Se	硒化氢	124.9	350/632	液	毒	否	燃	需
Hydrogen Bronide	HBr	溴化氢	320	330/634	液	毒	腐	否	需
Hydrogen Chloride	HCl	氯化氢	613	330/634	液	毒	腐	否	需
Helium	He	氦气	2600	580/718	气	否	否	否	否
Hydrogen Fluoride	HF	氟化氢	0.6	670/638	液	毒	腐	否	需
Nitrogen	N2	氮气	2600	580/718	气	否	否	否	否
Nitrous Oxide	N2O	一氧化氮（笑气）	745	326/712	液	毒	否	否	否
Neon	Ne	氖气	1800	580/718	气	否	否	否	否
Nitrogen Trifluoride	NF3	三氟化氮	1450	330/640	气	毒	腐	否	需
Ammonia	NH3	氨气	114.1	660/720	液	毒	腐	否	需
Nitric Oxide	NO	一氧化氮	2000	660/716	气	毒	否	否	需
Oxygen	O2	氧气	2600	540/714	气	否	否	否	否
Ozone	O3	臭氧			气	毒	否	否	否
Phoshphine	PH3	磷化氢（磷烷）	593	350/632	液	毒	否	燃	需
Phosphorus Oxychloride	POCl3	氯氧化磷	-14.19	N/AN/A	液	毒	否	否	需
Sulfur Hexafluoride	SF6	六氟化磷	320	590/716	液	否	否	否	否
Silixon Tetrachloride	SiCl4	四氯化硅	-11	N/A/636	液	毒	腐	否	否
Silixon Tetrafluoride	SiF4	四氟化硅	1000	330/642	气	毒	否	否	否
Dichlorosillane(DCS)	SiH2Cl2	二氯二氢硅	9.1	678/636	液	毒	腐	燃	需
Silane	SiH4	四氢化硅（硅烷）	1000	350/632	气	毒	否	燃	需
Trichorosilane(TCS)	SiHCl3	三氯氢硅	20	678/636	液	毒	腐	燃	需
Tungsten Hexafluoride	WF6	六氟化钨	2.4	670/638	液	毒	腐	否	需
Xenon

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